Desenvolvimento de Materiais Micro e Nano-Estruturados em Ambiente de Sala Limpa

Apresentação do Curso

O programa de formação em “Desenvolvimento de Materiais Micro e Nano-Estruturados em Ambiente de Sala Limpa” é um Curso de Especialização estreitamente relacionado com áreas científicas e tecnológicas com a Área Científica de Engenharia Física, particularmente focado para o mundo empresarial e científico-tecnológico. O curso visa interligar diversas competências na área da física e tecnologia de materiais em ambiente controlado, com um foco na aquisição de competências e conhecimentos cada vez de maior importância para o desenvolvimento tecnológico do país.

O curso compreenderá os seguintes conteúdos principais, sob a forma de Unidades Curriculares:

1 – Introdução ao trabalho em sala limpa

2 – Técnicas de deposição de materiais

3 – Técnicas de fabricação de microestruturas

4 – Técnicas de caracterização de materiais

O programa de formação terá uma forte componente experimental e prática, onde os alunos irão adquirir experiência direta com todas as referidas técnicas bem como os respetivos procedimentos.

No final desta UC, os estudantes devem ter adquirido conhecimentos básicos sobre:

– Salas limpas: diferentes tipos e caraterísticas de salas limpas, respetivas funções e procedimentos básicos e regras de utilização e princípios básicos de manutenção;

– Técnicas avançadas de deposição de materiais em ambiente de sala limpa, nomeadamente, deposição por feixe de eletrões, deposição por camada atómica (atomic layer deposition, ALD) e deposição de materiais através pulverização catódica DC e RF (sputtering DC e RF);

– Técnicas de microfabricação em ambiente de sala limpa, nomeadamente fotolitografia, tratamentos de superfície e etching químico e fabricação de microeléctrodos;

– Caracterização morfológica, estrutural e elementar/química de materiais baseadas em técnicas de espectroscopia ótica e microscopia avançada de alta resolução.